産品清洗是生(shēng)産過程的一道重(zhong)要工序,對高技術(shù)産品而言,清洗是(shi)一道關鍵性工序(xu)。在電子産品中,清(qing)潔度對性能、質量(liang)、使用壽命和可靠(kào)性的影響更爲嚴(yan)重。例如,繼電器是(shì)自動化控制系統(tǒng)中的重要🥰器件,常(cháng)因污染物增加了(le)接觸電阻,造成♻️工(gong)作失靈,該通電時(shi)不👅通,該斷時不斷(duàn),嚴重影響設備的(de)可靠性。電真空器(qì)件常因清潔度不(bú)高,在高真空、高❗電(dian)壓條件下,而出現(xiàn)打火現象以及真(zhen)空⁉️度下降、陰極中(zhong)毒、電參數劣化,壽(shou)命🏃降低等。電子線(xiàn)路闆上的離子污(wu)染度過高,就會增(zēng)加洩露電流,降低(dī)表面絕緣電🐇阻,甚(shen)至引起短路和電(dian)化學腐蝕,嚴重影(ying)響儀器儀表和電(dian)子裝備的可靠性(xìng)。在微電子領域中(zhong),對清潔度就更爲(wèi)敏感。薄膜晶體管(guan)(TFT)液晶顯示器的基(jī)闆上,1µm以下的粒子(zǐ)會造成多層配線(xiàn)構造層間的短路(lù),1µm以上的粒子就會(huì)造成層間短路和(hé)配🈲線的斷線,5µm以上(shang)的粒子就會造成(chéng)配線間的短路,有(yǒu)機污染會造成膜(mó)缺陷甚至脫落,電(diàn)性能不良,金屬離(lí)子🌈污染會造🚶成層(ceng)間、配線🔱間的短路(lù),并會該變FTF的特性(xìng)。
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